全自動減薄機(jī)

所屬分類：

碳化硅切割

概要描述：

本系列減薄機(jī)主要應(yīng)用于硬脆材料的厚度去除。采用In-feed加工原理，通過砂輪旋轉(zhuǎn)及垂直進(jìn)給對旋轉(zhuǎn)的晶圓進(jìn)行磨削加工。此型號通過高剛性優(yōu)化設(shè)計(jì)，除應(yīng)用于硅片加工，特別適用于碳化硅片的高效、高精加工。

產(chǎn)品留言

產(chǎn)品參數(shù)

1.基本規(guī)格
晶圓加工規(guī)格	8寸、6寸
晶圓加工厚度	0.1mm~1mm
磨削原理	In-feed
使用砂輪規(guī)格	12寸（300mm)
磨削方式	全自動/手動
料盒數(shù)量	2（兼容8寸、6寸）
可加工面	單面減薄/雙面減?。ǔ绦蜻x擇）
主機(jī)重量	9500KG
主機(jī)外形尺寸	305014952180
2.主軸規(guī)格
主軸數(shù)量	2 (Z1、Z2）
主軸軸承形式	氣浮軸承
主軸電機(jī)功率	11KW
主軸轉(zhuǎn)速	1000rpm~3000rpm（Z1、Z2可根據(jù)工藝單獨(dú)設(shè)置）
3.Z軸規(guī)格（Z1、Z2)
Z軸行程	150mm
Z軸速度范圍	0.0001~0.08 mm/s
Z軸最快速度	50 mm/s
Z軸最小移動距離	0.1 μm
Z軸分辨率	0.1 μm
4.成片臺規(guī)格
成片臺數(shù)量	3 (A、B、C）
成片臺軸承形式	氣浮軸承
成片臺吸附晶圓方式	真空吸附（設(shè)備配置有真空系統(tǒng)）
成片臺轉(zhuǎn)速范圍	0~500rpm(每個成片臺可單獨(dú)設(shè)置）
成片臺切換方式	氣浮轉(zhuǎn)臺
成片臺清洗方式	油石/二流體/毛刷